噴漆房等離子廢氣凈化設備利用制的能臭氧UV紫外線光束照射有機氣體及空氣中的氧分子，裂解有機氣體的分子鍵，并分解空氣中的氧分子產(chǎn)生游離氧，即活性氧，UV＋O2→O-+O＊(活性氧)O+O2→O3(臭氧)。游離狀態(tài)的分子與臭氧氧化結合成小分子無害或害的化合物，如CO2、H2O等。從而達到凈化氣體的效果。

反應工程式：

1、UV + 分子有機物→分子有機物

2、UV + 空氣( O2) →O3

3、分子有機物+ O3→ CO2+ H2O +N2

降解揮發(fā)性有機污染物(VOCs)傳統(tǒng)的處理方法如吸收、吸附、冷凝和燃燒等，對于低濃度的VOCs很難實現(xiàn)，而光催化降解VOCs又存在催化劑容易失活的問題，利用低溫等離子體處理VOCs可以不受上述條件的限制，具有潛在的優(yōu)勢。等離子廢氣凈化器采用了吸附-分解-碳化 離心式抽風安裝新工藝技術設計，采用標準模塊設計等優(yōu)點，是一種干法處理有機廢氣的凈化設備。它改變了使用活性碳材料的工藝技術，無需處理原料，無需專人負責，不產(chǎn)生二次污染，換及維護保養(yǎng)方便。

噴漆房等離子廢氣凈化設備是繼固態(tài)、液態(tài)、氣態(tài)之后的物質(zhì)的第四態(tài)，當外加電壓達到氣體的著火電壓時，氣體被擊穿，產(chǎn)生包括電子、各種離子、原子和自由基在內(nèi)的混合體。放電過程中雖然電子溫度很高，但重粒子溫度很低，整個體系呈現(xiàn)低溫狀態(tài)，所以稱為低溫等離子體。

低溫等離子體降解污染物是利用這些高能電子、自由基等活性粒子和廢氣中的污染物作用，使污染物分子在短的時間內(nèi)發(fā)生分解，并發(fā)生后續(xù)的各種反應已達到分解污染物的目的。低溫等離子體是相對于高溫等離子體而言，屬于常溫運行。

低溫等離子體工業(yè)廢氣處理成套設備和技術作為一種新型的氣態(tài)污染物的治理技術是一個集物理學、化學、生物學和環(huán)境科學于一體的交叉綜合性電子化學技術，由于能很容易使污染物分子分解且處理能耗低等特點